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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠峰智造plasam體處理可以濺射清掉瀝青拋光的硅片表面加工變質(zhì)層

誠峰智造plasam體處理可以濺射清掉瀝青拋光的硅片表面加工變質(zhì)層:
       誠峰智造plasam體表面處理是近十幾年來發(fā)展起來的一項(xiàng)技術(shù),由于其采用全干法、無污染處理效果好而廣泛應(yīng)用。
等離子體中離子能量達(dá)到數(shù)百電子伏特,不僅可以清掉表面吸附微細(xì)雜物,并且還能對硅片表面進(jìn)行濺射拋光。等離子體處理可以降低硅片表面粗糙度,清掉加工變質(zhì)層。

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       射頻功率會直接影響氣體電離的密度和離子的能量,從而影響等離子體對硅片表面作用效果。誠峰智造plasam體表面處理是利用高能離子作用于硅片表面,通過碰撞優(yōu)先濺射掉表面松散原子層(即拋光變質(zhì)層),又處理是在真空環(huán)境下進(jìn)行,硅片表面不易被污染,從而獲得新鮮的致密的真實(shí)表面,提高了超光滑光學(xué)表面的質(zhì)量,有利于外延膜的生長。
       誠峰智造plasam體處理前,液滴在硅片表面沒有鋪展開,并且形狀是不規(guī)則的;經(jīng)等離子體處理后,液滴在表面鋪展開,平均鋪展面積是處理前的4.6倍,并且形狀為規(guī)則圓形。這說明硅片經(jīng)等離子體處理后,表面能得到提高并且變得均勻。
       瀝青拋光的硅片表面必然存在加工變質(zhì)層,誠峰智造plasam體處理可以濺射清掉加工變質(zhì)層,減少表面缺陷,大大提高了硅片表面潔凈度和表面能,從而獲得新鮮致密均勻、平坦的超光滑表面。

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